NanoSAM. Оже-спектроскопия, нанозонд

   Электронная колонна Gemini сверхвысокого вакуума:

• высочайшее пространственное разрешение
• наименьший размер пятна электронного пучка
• уникальная производительность в режиме низких энергий
• эффективная микроскопия вторичных электронов

   Электронный анализатор Оже-спектрометра NanoSAM: 

• переменное разрешение по энергии
• превосходная чувствительность, многоканальное детектирование

   Пробоподготовка для Оже спектроскопии:

• варьирование размера образца
• изменение температуры образца в диапазоне (50-500) K
• наклон плоскости образца ±60°

   Предельное разрешение для Оже-спектрометра

   Комплекс NanoSAM (также называемый Оже-микрозонд) является основным инструментом для Оже-спектроскопии (анализа малых структур). Благодаря уникальной производительности электронной колонны Gemini сверхвысокого вакуума, NanoSAM гарантирует непревзойденное разрешение лучше 5 нм в сканирующей Оже микроскопии и лучше 3 нм в микроскопии вторичных электронов.

   В отличие от других систем, Оже-спектрометр NanoSAM обладает очень хорошим разрешением не только на стандартной энергии пучка в 20 кэВ, но и при энергии в 5 кэВ — разрешение в сканирующей Оже микроскопии при этой энергии остается лучше 10 нм. Режим низких энергий позволяет работать в диапазоне параметров, где сечения Оже высоки и хорошо документированы для количественного анализа.

   Дополнительный анализ

   Оже-спектрометр NanoSAM предназначен как для быстрого и эффективного сбора данных с рутинных образцов, так и для гибкой работы в нетипичных диапазонах параметров на сложных материалах. Кроме того, функциональность NanoSAM может быть расширена с помощью методик дополнительного анализа ключевых характеристик образцов: кристаллической структуры (дифракция отраженных электронов) или структуры магнитных доменов (сканирующая электронная микроскопия с поляризационным анализом). Другими особенностями NanoSAM являются: определение профиля распределения веществ по глубине, зарядовая нейтрализация, фокусируемый ионный пучок и электронно-лучевая литография.