Микроскоп Verios 5 XHR SEM

Verios 5 XHR SEM позволяет работать с самыми требовательными задачами в наноматериаловедении и полупроводниках. Монохромированный источник UC+ обеспечивает субнанометровое разрешение с 0,6 нм при 30 кВ и ниже напряжениях, включая 0,7 нм при 1 кВ и 1,0 нм при 500 В. Система Elstar с технологиями SmartAlign и FLASH обеспечивает быстрый доступ к nanoscale‑данным даже неопытным пользователям. Линзы ConstantPower и электростатическое сканирование гарантируют стабильность и воспроизводимость изображений. В приборе доступны два варианта пьезоэлектрических столиков — UC (150×150 мм) или HP (100×100 мм).

Verios поддерживает работу как при высоком вакууме, так и при низких давлениях до 150 Па, что позволяет анализировать непроводящие, чувствительные и биологические образцы без предварительного покрытия. Оборудован набором детекторов: ETD, TLD, MD, ICD, Nav‑Cam+, IR‑камера, с возможностью подключения EDS, EBSD, CL, Raman, WDS и др. Программное обеспечение включает AutoScript 4 для автономной работы и сценарного программирования на Python, а также Thermo Scientific Maps Software для автоматического сбора данных по большим площадям с помощью тайлинга и сшивания изображений и TopoMaps для цветной визуализации и 3D реконструкции поверхности.

Функциональность

• SmartAlign+FLASH — автоматическая календарная выравнивание колонки, минимальное обслуживание и стабильно высокое качество изображения.
• Режим низкодозовой посадки (до 20 эВ) обеспечивает изображение сверхвысокого контраста при минимальной нагрузке на образец.
• ConstantPower‑линзы и электростатическое сканирование для прогрессивной стабильности изображения.
• Варианты столиков Verios 5 UC (150×150 мм, загрузка через дверь) и HP (100×100 мм, загрузка через load-lock).