Описание оборудования
Axia ChemiSEM создан для повышения эффективности SEM‑EDS анализа. В основе системы — термоэмиссионный (W) источник и новая концепция ChemiSEM Technology, при которой EDS сигнал постоянно собирается и демонстрируется в реальном времени, без переключений режимов и задержек. Это позволяет пользователю характеризовать образец с первого кадра.
Инструмент автоматизирует фокусировку, выравнивание пучка (SmartAlign), компенсацию дрейфа, оптимизацию заряда и астигматизма, значительно сокращая время подготовки и снижая квалификационные барьеры. Пользовательский интерфейс интуитивен и сопровождается встроенными подсказками и сценариями работы при разных задачах. Благодаря вместительной камере (280 мм ширина), полностью раскрывающейся двери и нагрузке до 10 кг, прибор подходит для анализа крупных или нестандартных образцов. Этап от загрузки до вакуумирования занимает менее двух минут; несмотря на объём, скорость сканирования остаётся высокой и воспроизводимой.
Система поддерживает как высокую, так и низковакуумную (до 150 Па) среду, что позволяет работать с токопроводящими и токонепроводящими образцами, включая биологические и влажные материалы, без предварительного покрытия. Совместимая аналитическая платформа Thermo Scientific Maps™ Software предоставляет функции автоматизированного картирования больших площадей и стежинга изображений, а AutoScript 4 на Python позволяет создавать автоматизированные сценарии измерений для серийных анализов.
Функциональность
- Live quantitative elemental mapping — визуализация состава образца в реальном времени без переключений режимов и ручных настроек.
- SmartAlign и автофокус — автоматизированная настройка изображения и компенсация заряда и астигматизма для стабильной работы при любых условиях.
- Flexible loading chamber — возможна загрузка образцов до 10 кг, легко вставляться даже неудобные объекты, быстрая смена образцов (<2 мин).
Преимущества
- Принцип работы: термоэмиссионный источник, ChemiSEM сбор EDS, автоматическая компенсация
- Программное обеспечение: ChemiSEM, Maps™, AutoScript 4, xT SEM интерфейс, SmartScan, DCFI
- Массогабариты: 895×775×1624 мм, масса ~405 кг
- Условия эксплуатации: напряжение ускорения 200 В–30 кВ, рабочий вакуум: HiVac и LowVac до 150 Па
- Комплектация: стандартный TrueSight EDS, ETD, retractable BSE, LVD LoVac; опции CL‑детектор, EBSD, CleanHeater
- Прочее: возможность Python-скриптинга (AutoScript), мультипортовая камера, ускоренная подготовка образцов
- Постоянный EDS-анализ без переключений режимов
- Уникальная удобная загрузка образцов большого размера и массы до 10 кг
- Встроенное ПО: ChemiSEM (live-mapping), Maps™, AutoScript 4, Nav‑Cam interface
- Возможности расширения: EBSD (Quasor II), катодолюминесценция (CL), Beam Deceleration, CleanHeater stage
Основные характеристики
Источник электрона | Термоэмиссионный вольфрамовый (W) |
Разрешение | 3.0 нм @ 30 кВ (SE); 8 нм @ 3 кВ (SE); 7 нм @ 3 кВ (BSE) |
Детекторы | ETD (SE), retractable BSE, TrueSight EDS, LVD (LoVac), опции: CL, EBSD |
Живое EDS-картирование | Да (ChemiSEM Technology), quantitative mapping при съемке |
Объём камеры | Ø 280 мм внутренняя ширина, до 10 кг образцы, максимально 128 мм высота |
Стадия | XY 120×120 мм, наклон –15° / +90°, вращение n×360° |
Программное обеспечение | Maps™, AutoScript 4, ChemiSEM, SmartScan, DCFI, xT SEM |
Дополнительные опции | Beam Deceleration, CleanHeater (до 1100 °C), Photon CL, Quasor II EBSD, TopoMaps |
Габариты / вес | 895×775×1624 мм, ~405 кг |
Сервис и ремонт измерительного оборудования
ФОРМА ДЛЯ
ОБРАТНОЙ СВЯЗИ
Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.
Напишите свой вопрос, укажите интересующее оборудование.