Микроскоп Apreo ChemiSEM System

Thermo Fisher Scientific Inc.

Высокопроизводительный сканирующий электронный микроскоп с полевой эмиссией (FEG) и интегрированной технологией ChemiSEM® для прямого комбинированного SEM , EDS и EBSD анализа. С разрешением на уровне нанометров и субнанометров при рабочем расстоянии 10 мм, прибор позволяет работать даже сbeam чувствительными и магнитными образцами. Интеллектуальные функции автоматизации, включая Smart Frame Integration, автофокус и автоматическую стегмацию, обеспечивают удобство эксплуатации и высокую воспроизводимость результатов.

Заказать Задать вопрос специалисту

Описание оборудования

Микроскоп Apreo ChemiSEM поддерживает все виды SEM‑анализов: от высококонтрастной визуализации поверхности до картирования состава и структур. FEG‑источник обеспечивает разрешение до 0,7 нм при высоком вакууме и до 1,8 нм в низковакуумной среде. Система Trinity Detection (T1, T2, T3) объединяет in‑lens и in‑column детекторы, а Everhart‑Thornley SE и DBS‑детекторы расширяют возможности визуализации контраста и топографии материала.

ChemiSEM® Technology предлагает живое количественное картирование элементов на базе встроенного EDS. Инструмент TruePix EBSD‑детектор обеспечивает быстрый и точный анализ кристаллографии с низким уровнем шума и высокой чувствительностью. Совместимость с ПО xTalView обеспечивает бесшовный рабочий процесс между SEM, EDS и EBSD секциями измерений.

Устройство оснащено самовыровнивающейся оптической системой, мотorizованной пятиосевой платформой размером до 110×110 мм с нагрузкой до 5 кг, IR‑камерой Nav‑Cam и быстрой вакуумной камерой для ускоренного размещения образцов. Дополнительные функции: автоматическая очистка плазмой, база плагинов для STEM, CL, WDS, Raman и др. Поддерживается удалённое управление.

Функциональность

Smart Frame Integration (SFI) — динамическое цифровое улучшение изображений: шумоподавление, HDR‑подход, автоматическое слияние кадров для чёткого визуала при низких условиях.
Автофокус и автоматическая стегмация гарантируют стабильные результаты независимо от опыта оператора.
Live EDS mapping через ChemiSEM Technology: картирование в режиме реального времени с автоматической количественной обработкой.
TruePix EBSD‑анализ: высокая пропускная способность, чувствительность при низких энергиях, единичный электронный подсчёт, Zero‑distortion капсулированное изображение.
Trinity Detection System: T1, T2, T3 + ETD + DBS + IR‑CCD + Nav‑Cam, опционально STEM/CL/DBS‑GAD для расширенного анализа.

Преимущества

Принцип работы: полевой эмиссионный источник (FEG), система Trinity, функции beam deceleration
Программное обеспечение: ChemiSEM®, xTalView, TruePix EBSD, Nav Cam interface
Массогабариты: камера Ø 340 мм, платформа 110×110 мм, макс. вес образца 5 кг
Условия эксплуатации: высокая/низкая вакуумная среда, рабочие напряжения 20 eV–30 kV, давление до 500 Pa
Комплектация: базовая + опциональные модули (EDS, EBSD, CL, STEM)
Прочее: плазменная очистка, автоматическое выравнивание, автоматическая компенсация заряда

Особенности

Полная интеграция SEM, EDS и EBSD в единую платформу (ChemiSEM Technology)
Инновационный TruePix EBSD детектор для точной кристаллографической аналитики
Универсальная система детекторов Trinity (T1–T3) для высококонтрастной визуализации
Удобное ПО: xTalView, ChemiSEM live mapping, автоматизация параметров, Nav Cam и IR камера
Возможности расширения: STEM, CL, WDS, Raman и другие опциональные модули

Основные характеристики

Источник	Полевая эмиссия (FEG)
Разрешение	≤ 0.7 нм при 30 kV, 1.0 нм при 1 kV, 0.8 нм в режиме deceleration, до 1.8 нм при низком вакууме (80 Pa)
Набор детекторов	Trinity (T1, T2, опционально T3), Everhart‑Thornley (ETD), DBS, Low‑vacuum SE, STEM 3+, IR‑CCD, Nav‑Cam
ChemiSEM Technology	Интегрированная EDS‑система TrueSight (25/70 мм²; чувствительность до Si Lα); live quantitative mapping
TruePix EBSD	Пиксельный детектор, single‑electron counting, 2000 FPS, чувствительность до 4 keV
Энерговход	20 eV – 30 kV, Stage bias –4000 V до +600 V
Стадия	5‑осевая Eucentric платформа 110×110 мм, наклон –15°/+90°, макс. вес 5 кг
Камера/корпус	Ø 340 мм внутренний диаметр, 12 портов
Диапазон тока луча	1 pA – 50 nA (опция до 400 nA)

Узнать стоимость

Области применения

Все области применения

Металлургия

Геология

Криминалистика

Фармацевтическая промышленность

Экология

Похожее оборудование

Микроскоп VolumeScope 2 SEM

Передовой сканирующий электронный микроскоп с технологией serial block-face imaging и Multi Energy Deconvolution (MED SEM).

Микроскоп Prisma E SEM

Универсальный высокопроизводительный сканирующий электронный микроскоп с вольфрамовым (W) источником и режимом environmental SEM (ESEM™).

Микроскоп Quattro ESEM

Ультра универсальный высоко разрешающий SEM с технологией FEG и уникальной экологической средой (ESEM™), позволяющей анализировать образцы в их естественном состоянии.

Микроскоп Verios 5 XHR SEM

Сканирующий электронный микроскоп экстра высокого разрешения, обеспечивающий субнанометровую визуализацию в диапазоне рабочих напряжений от 1 кВ до 30 кВ.

Микроскоп Axia ChemiSEM System

Современный сканирующий электронный микроскоп (SEM) с термоэмиссионным (W) источником и встроенной технологией ChemiSEM®, которая обеспечивает автоматическое количественное EDS картирование прямо во время визуализации образца.

Микроскоп Apreo 2 SEM

Высокопроизводительный сканирующий электронный микроскоп с полевой эмиссией (FEG источник), обеспечивающий суб нанометровое разрешение даже при рабочем расстоянии 10 мм.