Электрохимический профилометр ECV-Pro

Onto Innovation Inc.

Профилометр для спектроскопических исследований электрических свойств и профиля полупроводниковых материалов.

Заказать Задать вопрос специалисту

Описание оборудования

Установка ECV Pro UV предназначается для измерения распределения уровней легирования по глубине эпитаксиальной структуры на подложках из полупроводниковых материалов с подсветкой ультрафиолетом при травлении. Электрохимический профилометр использует хорошо подобранную систему электрохимического травления, с помощью которой материал может быть профилирован по любой глубине с управляемой и расчётной скоростью.

Описание Электрохимический профилометр ECV-Pro

Основные характеристики

Измеряемые концентрации носителей заряда	10¹³см^-3 — 10²⁰см^-3
Диапазон толщин	0.05 – 50 мм
Разрешающая способность измерений по глубине	1 нм
Диаметр измеряемых пластин	2 — 6″

Узнать стоимость

Области применения

Все области применения

Металлургия

Геология

Криминалистика

Фармацевтическая промышленность

Экология

Похожее оборудование

233AC Измеритель электрического сопротивления

Автоматизированная система для измерения электрического сопротивления четырехзондовым методом с кассетной загрузкой пластин, улучшенная версия серии 280.

280I-серия для измерения удельного сопротивления

Настольная система для оценки удельного сопротивления полупроводниковых пластин, охватывающая широкий спектр задач по контролю электрических свойств материалов.