Рентгеновские фотоэлектронные спектрометры (РФЭС) по индивидуальному проекту

Некоторые примеры систем, изготовленных ScientaOmicron:

Prof. Igor Shvets, Trinity College Dublin, Ireland / MULTIPROBE MXPS XP

Спектрометрическая система MXPS оборудована тремя камерами: аналитической, препаративной и шлюзом быстрой загрузки образцов. Полусферический анализатор  EA 125 U5 работает в связке с монохроматором XM 1000 и пушкой для нейтрализации заряда CN 10 для монохроматизированной РФЭС, а также с УФ источником HIS 13 VUV для УФС. Все источники смонтированы на аналитической камере. Препаративная камера оборудована 4-grid SPECTALEED и источником ISE 5 для распылительной подготовки образца. Система автоматизирована под управлением ПО Cascade.

Dr. Olivier Renault / MULTIPROBE MXPS RM

РФЭ спектрометр с кастомизированными камерами для анализа и подготовки образцов, а также с отдельным загрузочным блоком для быстрого ввода образцов. Данная схема разработана как для работы в лабораторных условиях, так и для интеграции в линию пучка синхротронного излученияю. Аналитическая камера оснащена самым передовым оборудованием для проведения РФЭС с угловым разрешением. Система включает 5-осевой манипулятор с гелиевым охлаждением, анализатор высокого разрешения (EA125 U7 HR), монохроматический источник рентгена (XM 1000) и двыханодный рентгеновский источник (DAR 400), источник для нейтрализации заряда (CN 10), профилирования по глубине (FIG 05) и УФС (HIS 13), а также 4-grid LEED (SPEC 4).

Prof. Weidong Wu / MULTIPROBE MXPS with PLD Preparation Chamber

РФЭ спектрометр позволяет проводить In-situ анализ образцов, выращенных в соседней подготовительной камере импульсно-лазерного осаждения (PLD).  Аналитическая камера оснащена модулем AFM/STM и контроллером  MATRIX, полусферическим анализатором SPHERA U5, источником монохроматизированного рентгеновского излучения XM 1000, электронной пушкой EKF 300 для Оже-электронной спектроскопии, ионным источником FIG 05 для профилирования по глубине и лампой HIS 13 VUV для спектроскопии в ультрафиолетовом излучении.  Программное обеспечение CASCADE позволяет автоматизировать эксперимент.
PLD камера отедльным манипулятором образа для импульсно-лазерного осаждения, который работает в среде обогащенной кислородом при высокой температуре. Помимо столика мишеней (до 5 мишеней) для процесса лазерной абляции в камере установлен RHEED модуль для in-situ характеризации выращенных пленок. Загрузка мишеней осуществляется через отдельную шлюзовую камеру, соединенную с камерой для PLD.

Dr. Chris Nicklin / MULTIPROBE MXPS XP

РФЭС система, сконструированная для работы с размером образцов до 2″. Были специально подобраны аналитическая и препаративная камеры, а также шлюз для загрузки образцов. В препаративной камере обеспечена возможность нагрева образцов (> 1250°C) с их незамедлительной инспекцией с попомщью метода дифракции обратно отраженных электронов — LEED (SPEC 4/254/45).В аналитической камере образцы также могут быть подвергнуты нагреву. Анализатор энергий электронов EA 125 U5 работает совместно с двуханодным рентгеновским источником DAR400. Методы УФС доступны за счет источника HIS 13 VUV.  Структурный анализ образцов производится с помощью модуля сканирующей зондовой микроскопии для больших образцов (LS STM) под управлением ПО MATRIX. В системе обеспечена возможность усовершенствования для реализации РФЭС высокого давления.

Prof. Suemitsu / MULTIPROBE MXPS System

Данная система является трехкамерной (анлитическая, препаративная и камера загрузки образцов). Анализ образцов может быть выполнен с момощью LEED модуля или на атомно-силовом микроскопе  VT AFM XA  под управлением сисетмы MATRIX.
Анализатор электронов SPHERA U7 используется совместно с монохроматическим источником рентгеновского излучения (XM 1000) и двуханодной рентгеновской пушкой (DAR 400). Оже-спектроскопия реализована с помощью источника электронов EKF 300. Источник HIS 13 VUV используется для экспериментов в области ультрафиолетовой спектроскопии.

MULTIPROBE MXPS System

MULTIPROBE MXPS — система с тремя основными камерами для электронной спектроскопии, СЗМ и пробоподготовки. Электронная спектроскопия производится с помощью высококлассного полусферического анализатора Argus, монохроматора XM 1000, заполняющего источника CN 10 и пушки для распылительного профилирования  FDG 150. В дополнение, в комплекс была интегрирована 500 нм электронная РЭМ пушка для сканирующего режима оже-спектроскопии и микроскопии, кремниевый дрейф-детектор для EDS картирования. Система была полностью автоматизирована в ПО CASCADE. Препаративная камера оснащена  4-grid SPECTALEED и источником ионов ISE 5 для подготовки образцов. Отдельная подсистема повзоляет проводить структурный анализ образцов используя модуль сканирующей зондовой микроскопии с контролем температуры VT SPM под управлением ПО Matrix.