Главная Каталог Наука и нанотехнологии Электронные микроскопы Двухлучевые электронные микроскопы Микроскоп Scios 3 FIB-SEM

Двухлучевые электронные микроскопы

Микроскоп Scios 3 FIB-SEM

Thermo Fisher Scientific Inc.

Современный аналитический сканирующий электронный микроскоп с фокусированным ионным пучком (FIB-SEM) сверхвысокого разрешения.

Заказать Задать вопрос специалисту

Описание оборудования

Thermo Scientific Scios 3 FIB-SEM представляет собой современный аналитический сканирующий электронный микроскоп с фокусированным ионным пучком (FIB-SEM) сверхвысокого разрешения.

Ключевые особенности

Инновационные решения для повышения производительности
Высокая надежность работы
Простота эксплуатации

Программное обеспечение

Полный набор автоматизированных приложений
Оптимизация для типовых задач
Значительное повышение производительности труда

Функционал системы Scios 3 FIB-SEM

Автоматизированный анализ поперечных сечений

Прецизионное исследование подповерхностных структур с точным позиционированием
Оптимизированные рабочие процессы с минимальным вмешательством оператора
Стабильно высокое качество результатов в условиях высокой нагрузки

Высокопроизводительная 3D-визуализация

Автоматизированное послойное сканирование с помощью ПО Auto Slice & View 5
Мультимодальный анализ: SEM-визуализация, анализ химического состава, анализ микроструктуры и кристаллография

Автоматизированная подготовка образцов для (S)TEM

Быстрое и точное изготовление образцов для просвечивающей электронной микроскопии
Полная автоматизация с ПО AutoTEM 5
Поддержка широкого спектра материалов, включая сложные устройства

Сверхвысокое разрешение визуализации

Оптика без магнитного поля для работы с магнитными и непроводящими материалами
Четкие изображения для детального анализа в научных и промышленных исследованиях

Удобный интерфейс

Интуитивное управление с минимальным обучением
Повышение эффективности за счет упрощенной навигации

Применение FIB-SEM в исследованиях

Характеристика микроструктуры материалов. Система Thermo Scientific Scios 3 FIB-SEM обеспечивает

Прецизионное создание поперечных срезов для анализа скрытых структур
Исследование состава, дефектов и механизмов разрушения материалов
Автоматизированную подготовку срезов с помощью ПО Auto Cross Section
Технологию «rocking mill» для получения гладких поверхностей без дополнительного оборудования

Пример: Анализ частиц NMC для катодов Li-ion аккумуляторов

3D-анализ материалов и устройств. Ключевые возможности:

Получение 3D-данных с помощью Auto Slice & View 5
Комплексная визуализация: BSE-контраст для различия материалов, EDS для элементного анализа, EBSD для кристаллографических исследований
Интеграция с Avizo Software для продвинутой 3D-реконструкции

Пример: 3D EDS-реконструкция анода Li-ion аккумулятора

Подготовка образцов для просвечивающей электронной микроскопии (TEM). Преимущества Scios 3 FIB-SEM:

Полностью автоматизированная подготовка образцов с AutoTEM 5
Высокое качество срезов с минимальными повреждениями
Быстрое и точное изготовление образцов из заданных областей
Доступность для пользователей с разным уровнем подготовки

Применение: Исследования в материаловедении, нанотехнологиях, биологии

Идеальное решение для научных исследований и промышленных применений, сочетающее передовые технологии с удобством использования.

Преимущества

Универсальная работа с материалами: поддержка исследований как магнитных, так и диэлектрических образцов
Эффективный структурный анализ: быстрое получение данных о подповерхностной структуре и 3D-сканирование с высоким разрешением
Простота использования и автоматизация процессов

Особенности

Прецизионная подготовка образцов
Детальная 3D-характеризацию
Работа с широким спектром материалов, включая магнитные и непроводящие образцы

Основные характеристики

	Scios 3C FIB-SEM	Scios 3S FIB-SEM
Разрешение	0.7 нм при 30 кэВ (STEM) 1.4 нм при 1 кэВ	0.7 нм при 30 кэВ (STEM) 1.4 нм при 1 кэВ
Диапазон токов	1 пА - 400 нА	1 пА - 400 нА
Энергия	20 эВ - 30 кэВ	20 эВ - 30 кэВ
Режим низкого вакуума	-	Опционально
Ионная система	Sidewinder HT	Tomahawk HT
Ускоряющее напряжение	500 В - 30 кВ	500 В - 30 кВ
Диапазон ионного тока	1.5 пА - 65 нА	1.1 пА - 100 нА
Детекторы	Trinity Detection System (внутрилинзовый и внутриколоночный) Everhart-Thornley SE (ETD) Опционально: – ICE детектор – Сегментированный BSE детектор – STEM 3+ детектор (BF/DF/HAADF) – Навигационная камера Nav-Cam
Столик и образец	5-осевой моторизованный столик: – XY: 110 мм – Z: 65 мм – Вращение: 360° – Наклон: -38°...+90° – Повторяемость XY: 3 мкм – Макс. высота: 85 мм – Макс. вес: 5 кг – Макс. размер: 110 мм

Узнать стоимость

Области применения

Все области применения

Металлургия

Геология

Криминалистика

Фармацевтическая промышленность

Экология

Похожее оборудование

Микроскоп Aquilos 2 Cryo-FIB

Специализированная система для приготовления ультратонких, электронно-прозрачных срезов.

Микроскоп Arctis Cryo-Plasma-FIB

Специализированная система для автоматизированного высокопроизводительного получения крио-срезов из витрифицированных клеток.

Микроскоп ExSolve WTP DualBeam

Микроскоп обеспечивает комплексное исследование образцов – от тканей до белковых комплексов – с сохранением их естественного состояния.

Микроскоп Helios 5 DualBeam

Микроскоп сочетает передовые технологии FIB-обработки с интеллектуальными системами автоматизации, обеспечивая надежную основу для развития следующих поколений электронных устройств.

Микроскоп Helios 5 EXL DualBeam

Сочетает передовые технологии FIB-обработки с интеллектуальными системами автоматизации, обеспечивая надежную основу для развития следующих поколений электронных устройств.

Микроскоп Helios 5 PFIB DualBeam

Сканирующий электронный микроскоп с фокусированным ионным пучком (Plasma FIB-SEM) для подготовки TEM-образцов, включая 3D-характеризацию, анализ поперечных сечений, микрообработку.

Микроскоп Helios 5 PFIB Laser

Универсальный многофункциональный микроскоп, поддерживающий работу с четырьмя видами ионов (аргон, азот, кислород и ксенон), что позволяет подбирать оптимальные ионы для каждого исследования.

Микроскоп Helios 6 HD FIB-SEM

Микроскоп устанавливает новые стандарты в области подготовки образцов, обеспечивая исследователей и промышленность надежными инструментами для решения самых сложных аналитических задач.

Микроскоп Helios 6 HX FIB-SEM

Передовое решение для автоматизированной подготовки образцов для просвечивающей электронной микроскопии, сочетающее высочайшую точность с лучшей производительностью.

Микроскоп Helios 6 HXS FIB-SEM

Высокотехнологичное решение для серийной подготовки образцов в полупроводниковой промышленности, обеспечивающее беспрецедентный уровень автоматизации и точности.

Микроскоп Helios Hydra 5 PFIB-SEM

Универсальный многофункциональный микроскоп, поддерживающие работу с четырьмя видами ионов (аргон, азот, кислород и ксенон), что позволяет подбирать оптимальные ионы для каждого исследования.

Микроскоп Helios Hydra 5+ PFIB-SEM

Усовершенствованная система плазменной ионной микроскопии с повышенной на 50% мощностью ионного пучка (до 3.75 мкА для Xe) и ультранизким 100 эВ электронным пучком.