Микроскоп Helios Hydra 5+ PFIB-SEM

Новая система Thermo Scientific Helios Hydra 5+ PFIB-SEM обеспечивает в 2-4 раза более высокую скорость обработки по сравнению с традиционными плазменными FIB , благодаря:

• Увеличенным токам ионного пучка (Xe+/Ar+)
• Исключительной вертикальности обработки для структур с высоким соотношением сторон
• 100 эВ SEM-визуализации для послойного анализа
• Полной автоматизации юстировки пучков (<500 эВ)

Система обеспечивает высокую точность и воспроизводимость для широкого спектра задач в материаловедении и полупроводниковой промышленности.

Возможные применения

• Исследование причин дефектов в микросхемах. Современные микросхемы имеют очень сложное строение, поэтому найти в них неисправности бывает крайне трудно. Используется комплексный подход, сочетающий электрические измерения и физические методы исследования, чтобы точно находить и изучать причины поломок. Для физического исследования мы используем высокоточные методы, включающие подготовку ультратонких срезов для электронной микроскопии, послойное изучение структуры микросхемы и точное удаление слоев для доступа к проблемным зонам. Эти передовые технологии позволяют выявлять даже мельчайшие дефекты в самых сложных полупроводниковых устройствах.
• Фундаментальные исследования материалов. Современные материалы исследуются на предельно малых масштабах, что позволяет максимально точно контролировать их физические и химические свойства. Электронная микроскопия дает ученым ключевые данные о широком спектре характеристик материалов - от микро- до наноуровня. С помощью электронной микроскопии можно: изучать атомную структуру и состав материалов, анализировать дефекты кристаллической решетки, исследовать поверхностные свойства и границы раздела фаз, наблюдать динамические процессы в реальном времени.
• Контроль качества и производственных процессов. Сканирующие (СЭМ) и просвечивающие (ПЭМ) электронные микроскопы со специальным ПО обеспечивают быстрый и многоуровневый анализ для мониторинга и оптимизации производства. Решения включают: комплексный анализ дефектов на разных масштабах; сочетание электронной микроскопии и спектроскопии; автоматизированные системы для надежного контроля качества.
• Исследование клеток, тканей и биологических структур. Современные технологии позволяют изучать биологические объекты на всех уровнях - от целых тканей до отдельных белковых молекул. С помощью передовых методов электронной микроскопии можно детально исследовать субклеточные структуры с высоким разрешением и создавать идеальные образцы для крио-электронной томографии. Плазменный микроскоп Helios Hydra Plasma-FIB предлагает уникальные возможности: получение трехмерных изображений тканей, подготовка ультратонких срезов, автоматизированное извлечение образцов, работа как с замороженными, так и с полимерными образцами.