Описание оборудования
Автоматизированная система ПЭМ подготовки образцов с отличной повторяемостью. Helios 6 HXS FIB-SEM от Thermo Scientific — это высокотехнологичное решение для серийной подготовки образцов в полупроводниковой промышленности, обеспечивающее беспрецедентный уровень автоматизации и точности.
Основные характеристики
- Полностью автоматизированный процесс подготовки — точное позиционирование образцов, контроль толщины с использованием алгоритмов машинного обучения, возможность адаптации параметров под различные типы материалов
- Совместимость с автоматизированной лабораторией Vulcan
- Программное обеспечение AutoTEM 6 Professional для создания ультратонких срезов (менее 20 нм)
Метрологическая точность
- Позиционирование с субнанометровой точностью
- Стабильное получение срезов толщиной до 20 нм
Надежность процессов
- Более 95% успешных операций для процедуры Weld-To-Grid
- Свыше 90% для автоматического истончения
Ключевые компоненты
- Усовершенствованная колонна Osprey FIB
- Автоматическая система калибровки
- Инновационный держатель Dual Lamella Carrier
- Система газового осаждения MultiChem
- Прецизионный манипулятор EasyLift NanoManipulator
Система автоматической подачи образцов (EFEM) — интегрированное решение для Vulcan Automated Lab:
- Полностью автоматизированная загрузка/выгрузка
- Совместимость с держателями E177 5-finger
- Взаимодействие с лабораторной AMHS-системой
- Автоматическая передача образцов в Metrios 6S (S)TEM
Цифровая совместимость
- Сквозная передача данных между MES и управляющим ПО
- Поддержка OHT/AMR-систем
- Удобный интерфейс для управления заданиями
Преимущества
- Автоматизированная работа с материалами
- Автоматизированный обмен данными
- Автоматизированные рабочие процессы FIB-SEM
Особенности
- Модернизированная ионная колонна Osprey FIB
- Цифровая система управления пучком (10-кратное улучшение точности по сравнению с предыдущими версиями)
- Оптимизированные параметры ортогональности и стабильности для режимов FIB и SEM
Сервис и ремонт измерительного оборудования
Выезд сервис-инженера
В кратчайшие сроки к вам приедет наш сервисный инженер для проведения ремонта.
Сервисный договор
Обслуживание «под ключ»: график выездов, экстренные выезды,склад запчастей «быстрого реагирования».
Диагностика и ремонт
Ремонтируем аналитическое и лабораторное оборудование всех ведущих марок, как представляемых эксклюзивно нами, так и сторонних производителей.
Гарантия и качество
Большой опыт оказания услуг по сервисному обслуживанию и ремонту измерительного оборудования.
ФОРМА ДЛЯ
ОБРАТНОЙ СВЯЗИ
Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.
Напишите свой вопрос, укажите интересующее оборудование.
Наша почта
info@caic.kz
Наш телефон
+7 (708) 978-03-54