Двухлучевые электронные микроскопы
Микроскоп Helios 6 HD FIB-SEM
Thermo Fisher Scientific Inc.
Микроскоп устанавливает новые стандарты в области подготовки образцов, обеспечивая исследователей и промышленность надежными инструментами для решения самых сложных аналитических задач.
Описание оборудования
Как часть линейки DualBeam™, система Helios 6 HD FIB-SEM создана для удовлетворения ключевых потребностей полупроводниковой отрасли в получении высококачественных данных ПЭМ-анализа. Современные задачи научных исследований, метрологии и анализа дефектов требуют исключительной повторяемости и достоверности результатов, что и обеспечивает данное решение.
Ключевые технологические особенности
- Прецизионная подготовка образцов:
- Точное определение конечной точки обработки
- Оптимальная визуализация исследуемой области в ПЭМ
- Высокоточное истончение образцов в низковольтном режиме
- Инновационная колонна Osprey FIB:
- Полностью автоматизированная юстировка источника и колонны
- Цифровая система управления нового поколения
- Гарантированная повторяемость результатов
Преимущества
- Стабильно высокое качество подготовки образцов
- Минимизация человеческого фактора за счет автоматизации
- Оптимальные параметры для финального истончения
- Совместимость с современными исследовательскими методиками
Особенности
- Подготовка большого числа ПЭМ-образцов
- Максимальная эффективность использования системы
- Анализ дефектов и прецизионные измерения
Основные характеристики
| Электронный источник | Тип | Термоавтоэмиссионный катод (Шоттки) |
| Срок службы | Более 1 года | |
| Ионный источник | Тип | Жидкометаллический (Ga+) |
| Ресурс | 1 000 часов | |
| Рабочие напряжения | SEM | 20 В – 30 кВ |
| FIB | 500 В – 30 кВ | |
| Разрешение SEM | Оптимальное WD | 0.6 нм (@ 2–15 кВ), 0.7 нм (@ 1 кВ), 1.0 нм (@ 500 В) |
| Совмещенное WD | 0.6 нм (@ 15 кВ), 1.2 нм (@ 1 кВ) | |
| Разрешение FIB | 4.0 нм @ 30 кВ (стат. метод) | |
| 2.5 нм @ 30 кВ (метод края) | ||
| 500 нм @ 500 В (стат. метод) | ||
| Работа с образцами | Система lift-out и EasyLift™ NanoManipulator | |
| Столик | Тип | 5-осевой, пьезоэлектрический |
| Функции | Auto-QuickFlip Shuttle, автоматический шлюз | |
| Образцы | Тип | Кристаллы |
| Макс. размер | 36 × 66 мм | |
| Программное обеспечение | Основное | AutoTEM 6 (подготовка образцов) |
| Опции | Auto Slice & View™, CAD Navigation |
Микроскоп Aquilos 2 Cryo-FIB
Специализированная система для приготовления ультратонких, электронно-прозрачных срезов.
Микроскоп Arctis Cryo-Plasma-FIB
Специализированная система для автоматизированного высокопроизводительного получения крио-срезов из витрифицированных клеток.
Микроскоп ExSolve WTP DualBeam
Микроскоп обеспечивает комплексное исследование образцов – от тканей до белковых комплексов – с сохранением их естественного состояния.
Микроскоп Helios 5 DualBeam
Микроскоп сочетает передовые технологии FIB-обработки с интеллектуальными системами автоматизации, обеспечивая надежную основу для развития следующих поколений электронных устройств.
Микроскоп Helios 5 EXL DualBeam
Сочетает передовые технологии FIB-обработки с интеллектуальными системами автоматизации, обеспечивая надежную основу для развития следующих поколений электронных устройств.
Микроскоп Helios 5 PFIB DualBeam
Сканирующий электронный микроскоп с фокусированным ионным пучком (Plasma FIB-SEM) для подготовки TEM-образцов, включая 3D-характеризацию, анализ поперечных сечений, микрообработку.
Микроскоп Helios 5 PFIB Laser
Универсальный многофункциональный микроскоп, поддерживающий работу с четырьмя видами ионов (аргон, азот, кислород и ксенон), что позволяет подбирать оптимальные ионы для каждого исследования.
Микроскоп Helios 6 HX FIB-SEM
Передовое решение для автоматизированной подготовки образцов для просвечивающей электронной микроскопии, сочетающее высочайшую точность с лучшей производительностью.
Микроскоп Helios 6 HXS FIB-SEM
Высокотехнологичное решение для серийной подготовки образцов в полупроводниковой промышленности, обеспечивающее беспрецедентный уровень автоматизации и точности.
Микроскоп Helios Hydra 5 PFIB-SEM
Универсальный многофункциональный микроскоп, поддерживающие работу с четырьмя видами ионов (аргон, азот, кислород и ксенон), что позволяет подбирать оптимальные ионы для каждого исследования.
Микроскоп Helios Hydra 5+ PFIB-SEM
Усовершенствованная система плазменной ионной микроскопии с повышенной на 50% мощностью ионного пучка (до 3.75 мкА для Xe) и ультранизким 100 эВ электронным пучком.
Микроскоп Hydra Bio Plasma-FIB
Микроскоп обеспечивает комплексное исследование образцов – от тканей до белковых комплексов – с сохранением их естественного состояния.
Микроскоп Scios 3 FIB-SEM
Современный аналитический сканирующий электронный микроскоп с фокусированным ионным пучком (FIB-SEM) сверхвысокого разрешения.
Сервис и ремонт измерительного оборудования
Выезд сервис-инженера
В кратчайшие сроки к вам приедет наш сервисный инженер для проведения ремонта.
Сервисный договор
Обслуживание «под ключ»: график выездов, экстренные выезды,склад запчастей «быстрого реагирования».
Диагностика и ремонт
Ремонтируем аналитическое и лабораторное оборудование всех ведущих марок, как представляемых эксклюзивно нами, так и сторонних производителей.
Гарантия и качество
Большой опыт оказания услуг по сервисному обслуживанию и ремонту измерительного оборудования.
ФОРМА ДЛЯ
ОБРАТНОЙ СВЯЗИ
Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.
Напишите свой вопрос, укажите интересующее оборудование.
Наша почта
info@caic.kz
Наш телефон
+7 (708) 978-03-54
