Микроскоп Helios 5 PFIB Laser

Системы Thermo Scientific Helios 5 PFIB Laser объединяют плазменную ионно-лучевую обработку с фемтосекундной лазерной абляцией и сканирующей электронной микроскопией (SEM).

Эта уникальная комбинация «TriBeam» обеспечивает:

• Рекордную скорость обработки - лазерная технология обеспечивает удаление материала в 15 000 раз быстрее по сравнению с традиционными FIB-системами, что позволяет создавать миллиметровые сечения за минимальное время.
• Глубокий анализ структуры - система предоставляет статистически значимые данные о подповерхностных слоях, возможность 3D-анализа больших объемов и быструю характеристику глубоко расположенных структур.
• Прецизионную точность - совмещение трех лучей (SEM/(P)FIB/лазер) в одной точке гарантирует идеальную повторяемость резов, точное позиционирование при многоэтапной обработке и высокое качество 3D-характеристики.
• Универсальность обработки - система работает с трудными материалами, включая непроводящие и чувствительные к лучу образцы, позволяет исследовать материалы без переноса между приборами и поддерживает все стандартные методы подготовки образцов (TEM, APT).
• Интеграцию с платформой Helios 5 - сохранены все преимущества базовой системы, включая подготовку образцов высшего качества, визуализацию с ультравысоким разрешением и расширенные аналитические возможности.

Ключевые преимущества технологии

• Фемтосекундный лазер обрабатывает материалы в тысячи раз быстрее стандартных FIB-систем
• Создание крупных сечений (сотни микрометров) менее чем за 5 минут
• Щадящая обработка чувствительных материалов (непроводящих, чувствительных к ионному лучу)
• Минимальные тепловые повреждения и артефакты обработки
• Возможность непосредственного SEM-анализа после лазерной обработки

Интеграция с программным обеспечением Auto Slice & View позволяет:

• Послойное удаление материала для подповерхностного анализа
• Цифровую реконструкцию 3D-структуры
• Комплексный анализ (BSE, EDS, EBSD)
• Одновременную регистрацию вторичных электронов и электронов обратного рассеяния
• Автоматическую юстировку линз для воспроизводимых результатов

Системы TriBeam обеспечивают детальный анализ в широком диапазоне режимов работы - от структурной информации в STEM-режиме при 30 кэВ до исследования поверхности при низких энергиях без эффектов заряжения.

Thermo Fisher Scientific представляет семейство систем (P)FIB-SEM с полностью интегрированными фемтосекундными лазерами TriBeam. Все три модели серии объединяют лучшую в своем классе электронную колонну Thermo Scientific Elstar SEM, высокоточный 150-миллиметровый пьезоэлектрический столик и просторную рабочую камеру.

Базовая модель Helios 5 Laser System оснащена высокопроизводительной ионной колонной Tomahawk HT FIB, обеспечивающей исключительную скорость обработки. Модель Helios 5 Laser PFIB System комплектуется мощной ксеноновой плазменной PFIB-колонной для работы с самыми требовательными материалами. Флагманская система Helios 5 Laser Hydra System представляет уникальную технологию PFIB, поддерживающую работу с ксеноном, аргоном, кислородом и азотом, что делает ее универсальным решением для любых исследовательских задач.

Все модели серии обеспечивают полную интеграцию лазерной абляции с возможностями электронной микроскопии, поддерживая современные методы анализа, включая подготовку образцов для TEM и APT, а также комплексный 3D-анализ структуры материалов