Главная Каталог Наука и нанотехнологии Электронные микроскопы Двухлучевые электронные микроскопы Микроскоп Helios 5 PFIB DualBeam

Двухлучевые электронные микроскопы

Микроскоп Helios 5 PFIB DualBeam

Thermo Fisher Scientific Inc.

Сканирующий электронный микроскоп с фокусированным ионным пучком (Plasma FIB-SEM) для подготовки TEM-образцов, включая 3D-характеризацию, анализ поперечных сечений, микрообработку.

Заказать Задать вопрос специалисту

Описание оборудования

Микроскоп Thermo Scientific Helios 5 Plasma FIB (PFIB) DualBeam (сканирующий электронный микроскоп с фокусированным ионным пучком, FIB-SEM) предлагает непревзойденные возможности для материаловедения и полупроводниковой промышленности.

Для исследователей в области материаловедения система Helios 5 PFIB DualBeam обеспечивает:

Объемную 3D-характеризацию больших участков
Подготовку образцов без использования галлия
Прецизионную микрообработку

Для производителей полупроводниковых устройств, передовых упаковочных технологий и дисплейных устройств система предоставляет:

Бережное послойное вскрытие на больших площадях
Быструю подготовку образцов
Высокоточный анализ дефектов

Ключевые особенности:

FIB-SEM микроскоп с использованием плазмы
Поддержка различных методов исследований
Высокая производительность
Сохранение целостности образцов
Безгаллиевая подготовка STEM/TEM образцов
Плазменная Xe⁺-колонна нового поколения (2.5 мкА)
Электронная колонна Elstar с монохроматором UC+
Газовые системы MultiChem/GIS
Комплексная детекторная система (6 детекторов)
Пьезоэлектрический столик (150 мм)
Технологии SmartAlign и FLASH
Программное обеспечение AutoTEM 5
Программное обеспечение Auto Slice & View 4
Режимы SmartScan™ и DCFI

Возможные применения

Контроль качества и анализ дефектов: данные решения в области электронной микроскопии и спектроскопии позволяют проводить комплексный анализ дефектов на различных масштабах, обеспечивая надежную основу для принятия решений по оптимизации процессов
Фундаментальные исследования материалов: электронная микроскопия дает исследователям ключевые данные о физико-химических свойствах материалов в микро- и нанодиапазоне
Специализированные решения для полупроводниковой отрасли: анализ структур и материалов на атомарном уровне; точный контроль технологических процессов для повышения выхода годных изделий; выявление и исследование дефектов в сложных структурах; комплексный анализ физических, структурных и химических свойств материалов; исследование новых архитектур и материалов, выявление дефектов интерфейсов; анализ качества дисплеев и эффективности преобразования света

Преимущества

Безгаллиевая подготовка STEM и TEM образцов
Многорежимный анализ подповерхностных структур и 3D-характеризация
Плазменная Xe⁺-колонна нового поколения (2.5 мкА)

Применяемые методики

Подготовка образцов для (S)TEM
Подготовка образцов для АЗТ (APT)
In-situ эксперименты
Многоуровневый анализ
3D-характеризация материалов
Получение изображений поперечных сечений образцов
Лазерная абляция
Зондовая микроскопия
Анализ микросхем устройств по слоям

Основные характеристики

Технические характеристики для полупроводниковой промышленности

	Helios 5 PFIB CXe DualBeam	Helios 5 PFIB UXe DualBeam	Helios 5 PFIB HXe DualBeam
Применение	Исследования и разработки в области передовой упаковки и дисплеев, анализ отказов	Анализ отказов в передовой памяти	Анализ отказов в передовой логике
Электронная часть оптической системы	Elstar: экстремально высокоразрешающая колонка SEM с полевым эмиттером, включающая: • Иммерсионный магнитный объектив • Высокостабильный термоавтоэмиссионный катод для стабильных аналитических токов высокого разрешения • Технология монохроматора UC+
Разрешение электронного пучка	При рабочем расстоянии (WD): • 0.7 нм при 1 кВ • 1.2 нм при 1 кВ В точке совпадения: 0.6 нм при 15 кВ Технология монохроматора UC+
Электронно-ионная оптическая система	Высокопроизводительная колонка PFIB с индуктивно-связанной Xe+ плазмой (ICP) • Диапазон тока ионного пучка: 1.5 пА – 2.5 мкА • Диапазон ускоряющего напряжения: 500 В – 30 кВ • Максимальная ширина поля по горизонтали: 0.9 мм в точке совпадения пучков Разрешение ионного пучка в точке совпадения: • <20 нм при 30 кВ (предпочтительный статистический метод) • <10 нм при 30 кВ (метод селективного края)
Предметный столик и образец	Гибкий 5-осевой моторизованный столик: • Диапазон XY: 110 мм • Диапазон Z: 65 мм • Вращение: 360° (непрерывное) • Диапазон наклона: -38° до +90° • Повторяемость XY: 3 мкм • Макс. высота образца: 85 мм • Макс. вес образца при 0° наклона: 5 кг (включая держатель) • Макс. размер образца: 110 мм с полным вращением (возможны большие образцы с ограниченным вращением) • Вращение и наклон контролируются ПО • Опция загрузочного шлюза Thermo Scientific QuickLoader	Высокоточный 5-осевой моторизованный столик с осями XYR с пьезоприводом: • Диапазон XY: 150 мм • Диапазон Z: 10 мм • Вращение: 360° (непрерывное) • Диапазон наклона: -38° до +60° • Повторяемость XY: 1 мкм • Макс. высота образца: 55 мм • Макс. вес образца при 0° наклона: 500 г (включая держатель) • Макс. размер образца: 150 мм с полным вращением • Вращение и наклон контролируются ПО • Опция автоматического загрузочного шлюза • Опция загрузочного шлюза Thermo Scientific QuickLoader	5-осевой столик с ультравысоким разрешением (UHR) и пьезоприводом: • Диапазон XY: 100 мм • Опция автоматического загрузочного шлюза • Макс. размер образца: 70 мм • Типы образцов: фрагменты пластин, корпусные компоненты, TEM-сетки, целые пластины до 100 мм • Камера NavCam+

Технические характеристики для материаловедения

	Helios 5 PFIB CXe DualBeam	Helios 5 PFIB UXe DualBeam
Электронная часть оптической системы	Elstar: экстремально высокоразрешающая колонна SEM с полевым эмиттером, включающая: • Иммерсионный магнитный объектив • Высокостабильный термоавтоэмиссионный катод Шоттки • Технология монохроматора UC+
Разрешение электронного пучка	При оптимальном рабочем расстоянии (WD): • 0.7 нм при 1 кВ • нм при 500 В (ICD) В точке совпадения: • 0.6 нм при 15 кВ • 1.2 нм при 1 кВ
Параметры электронного пучка	• Диапазон тока электронного пучка: 0.8 пА – 100 нА • Диапазон ускоряющего напряжения: 200 В – 30 кВ • Диапазон энергии посадки: 20* эВ – 30 кэВ • Максимальная ширина поля по горизонтали: 2.3 мм при WD 4 мм
Электронно-ионная оптическая система	Высокопроизводительная колонна PFIB с индуктивно-связанной Xe+ плазмой (ICP): • Диапазон тока ионного пучка: 1.5 пА – 2.5 мкА • Диапазон ускоряющего напряжения: 500 В – 30 кВ • Максимальная ширина поля по горизонтали: 0.9 мм в точке совпадения пучков Разрешение ионного пучка в точке фокусировки: • <20 нм при 30 кВ (предпочтительный статистический метод) • <10 нм при 30 кВ (метод селективного края)
Детекторы	• Детектор линзы SE/BSE Elstar (TLD-SE, TLD-BSE) • Детектор колонны SE/BSE Elstar (ICD)* • Детектор SE Everhart-Thornley (ETD) • ИК-камера для наблюдения за образцом/колонкой • Высокопроизводительный детектор ICE для вторичных ионов (SI) и электронов (SE) • Навигационная камера Nav-Cam* • Выдвижной твердотельный детектор обратно-рассеянных электронов (DBS)* • Интегрированное измерение тока пучка
Предметный столик и образец	Гибкий 5-осевой моторизованный столик: • Диапазон XY: 110 мм • Диапазон Z: 65 мм • Вращение: 360° (непрерывное) • Диапазон наклона: -38° до +90° • Повторяемость XY: 3 мкм • Макс. высота образца: 85 мм • Макс. вес образца при 0° наклона: 5 кг (включая держатель) • Макс. размер образца: 110 мм с полным вращением (возможны большие образцы с ограниченным вращением) • Вращение и наклон контролируются ПО	Высокоточный 5-осевой моторизованный столик с осями XYR и пьезоприводом: • Диапазон XY: 150 мм • Диапазон Z: 10 мм • Вращение: 360° (непрерывное) • Диапазон наклона: -38° до +60° • Повторяемость XY: 1 мкм • Макс. высота образца: 55 мм • Макс. вес образца при 0° наклона: 500 г (включая держатель) • Макс. размер образца: 150 мм с полным вращением • Вращение и наклон контролируются ПО

Узнать стоимость

Области применения

Все области применения

Металлургия

Геология

Криминалистика

Фармацевтическая промышленность

Экология

Похожее оборудование

Микроскоп Aquilos 2 Cryo-FIB

Специализированная система для приготовления ультратонких, электронно-прозрачных срезов.

Микроскоп Arctis Cryo-Plasma-FIB

Специализированная система для автоматизированного высокопроизводительного получения крио-срезов из витрифицированных клеток.

Микроскоп ExSolve WTP DualBeam

Микроскоп обеспечивает комплексное исследование образцов – от тканей до белковых комплексов – с сохранением их естественного состояния.

Микроскоп Helios 5 DualBeam

Микроскоп сочетает передовые технологии FIB-обработки с интеллектуальными системами автоматизации, обеспечивая надежную основу для развития следующих поколений электронных устройств.

Микроскоп Helios 5 EXL DualBeam

Сочетает передовые технологии FIB-обработки с интеллектуальными системами автоматизации, обеспечивая надежную основу для развития следующих поколений электронных устройств.

Микроскоп Helios 5 PFIB Laser

Универсальный многофункциональный микроскоп, поддерживающий работу с четырьмя видами ионов (аргон, азот, кислород и ксенон), что позволяет подбирать оптимальные ионы для каждого исследования.

Микроскоп Helios 6 HD FIB-SEM

Микроскоп устанавливает новые стандарты в области подготовки образцов, обеспечивая исследователей и промышленность надежными инструментами для решения самых сложных аналитических задач.

Микроскоп Helios 6 HX FIB-SEM

Передовое решение для автоматизированной подготовки образцов для просвечивающей электронной микроскопии, сочетающее высочайшую точность с лучшей производительностью.

Микроскоп Helios 6 HXS FIB-SEM

Высокотехнологичное решение для серийной подготовки образцов в полупроводниковой промышленности, обеспечивающее беспрецедентный уровень автоматизации и точности.

Микроскоп Helios Hydra 5 PFIB-SEM

Универсальный многофункциональный микроскоп, поддерживающие работу с четырьмя видами ионов (аргон, азот, кислород и ксенон), что позволяет подбирать оптимальные ионы для каждого исследования.

Микроскоп Helios Hydra 5+ PFIB-SEM

Усовершенствованная система плазменной ионной микроскопии с повышенной на 50% мощностью ионного пучка (до 3.75 мкА для Xe) и ультранизким 100 эВ электронным пучком.