Двухлучевые электронные микроскопы
Микроскоп Helios 5 EXL DualBeam
Thermo Fisher Scientific Inc.
Сочетает передовые технологии FIB-обработки с интеллектуальными системами автоматизации, обеспечивая надежную основу для развития следующих поколений электронных устройств.
Описание оборудования
Растущий спрос на высокопроизводительную и энергоэффективную электронику стимулирует разработку устройств с миниатюрными элементами, повышенной плотностью компоновки и сложной 3D-архитектурой. Производство таких передовых микропроцессоров, запоминающих устройств и других продуктов требует прецизионного анализа структур на атомарном уровне, включая глубоко расположенные элементы. В этом контексте просвечивающая электронная микроскопия (ПЭМ) становится ключевым методом исследования, эффективность которого напрямую зависит от качества подготовки образцов с помощью фокусированного ионного пучка (FIB).
Thermo Scientific Helios 5 EXL DualBeam – это FIB-SEM система анализа больших пластин (300 мм), разработанная для решения сложных задач подготовки ПЭМ-образцов в условиях современных технологических норм, включая:
Helios 5 EXL DualBeam сочетает передовые технологии FIB-обработки с интеллектуальными системами автоматизации, обеспечивая надежную основу для развития следующих поколений электронных устройств.
2. Автоматизированное осаждение и травление. MultiChem Gas Delivery System предлагает:
3. Прецизионная FIB-обработка. Колонна Phoenix Ion Column обеспечивает:
4. Высокое разрешение и стабильность результатов. Колонна Elstar Electron Column с технологией UC предоставляет:
5. Автоматизированный манипулятор. EasyLift Nanomanipulator отличается:
6. Совместимость с производственной линией. Опция Automated FOUP Loader (AFL) позволяет:
Thermo Scientific Helios 5 EXL DualBeam – это FIB-SEM система анализа больших пластин (300 мм), разработанная для решения сложных задач подготовки ПЭМ-образцов в условиях современных технологических норм, включая:
- Процессы класса <5 нм
- Технологии gate-all-around (GAA)
Применение в производстве
- Контроль качества на передовых технологических узлах
- Анализ дефектов в 3D-структурах
- Метрология нанометровых элементов
Helios 5 EXL DualBeam сочетает передовые технологии FIB-обработки с интеллектуальными системами автоматизации, обеспечивая надежную основу для развития следующих поколений электронных устройств.
Ключевые особенности Helios 5 EXL DualBeam
1. Программное обеспечение для автоматизированной подготовки ПЭМ-образцов. Thermo Scientific AutoTEM 5 Software обеспечивает:- Комплексную навигацию по пластине и дефектам
- Создание и выполнение методик в единой программе
- Поддержку различных методов подготовки образцов
- Упрощенное планирование многоточечных исследований
2. Автоматизированное осаждение и травление. MultiChem Gas Delivery System предлагает:
- Высокую воспроизводимость процессов осаждения и травления
- Иглу с предустановками позиций для точной подачи газа
- Упрощенное обслуживание для минимизации простоев
3. Прецизионная FIB-обработка. Колонна Phoenix Ion Column обеспечивает:
- Революционную производительность при низких напряжениях
- Подготовку образцов для самых передовых исследований
4. Высокое разрешение и стабильность результатов. Колонна Elstar Electron Column с технологией UC предоставляет:
- Улучшенное разрешение для точного определения конечной точки
- Автоматическую юстировку для воспроизводимости между операторами
5. Автоматизированный манипулятор. EasyLift Nanomanipulator отличается:
- Интуитивным управлением для переноса образцов на сетку
- Высокой точностью позиционирования с минимальным дрейфом
- Быстрым моторным вращением для различных методов подготовки
6. Совместимость с производственной линией. Опция Automated FOUP Loader (AFL) позволяет:
- Размещать систему непосредственно в производственном цехе
- Получать данные в 3 раза быстрее по сравнению с лабораторным анализом
- Ускорять внедрение новых процессов и повышение выхода годных изделий
Преимущества
- Высокое качество подготовки образцов при низковольтном режиме работы
- Сверхвысокое разрешение SEM-колонны с иммерсионной линзой и автоэмиссионным катодом
- Автоматизированная обработка 300-мм пластин в FOUP-контейнерах с EFEM (соответствие стандарту GEM300)
Особенности
- Применение машинного обучения и замкнутой системы контроля для точного позиционирования пучка
- Стабильное получение высококачественных ультратонких срезов (ламелей) даже для сложных образцов
- Единая интегрированная платформа для навигации по пластине, определения дефектов и выполнения рецептов
- Субнанометровое разрешение для анализа интерфейсов, пленок и профилей
- Повышение эффективности труда операторов за счет сокращения ручных операций
- Снижение времени подготовки образцов
- Увеличение пропускной способности
- Обеспечение высокой воспроизводимости результатов
Основные характеристики
| Ионная колонна Phoenix | Тип ионного пучка | Галлиевый (Ga⁺) |
| Максимальный ток пучка | До 65 нА | |
| Низковольтный режим | 500 В | |
| Разрешение (30 кВ) | 4.0 нм (статистический метод) | |
| Срок службы источника | 1 000 часов (гарантия) | |
| Электронная колонна Elstar | Тип | Иммерсионная линза, автоэмиссионный SEM (FESEM) |
| Технология эмиттера | Schottky с UC+ монохроматором | |
| Разрешение электронного пучка: | • 1.0 нм @ 15 кВ • 0.9 нм @ 1 кВ |
|
| Срок службы источника | 12 месяцев | |
| Газовая система | MultiChem Gas Delivery System | • 6 слотов для химикатов • 1 газоинжекторная система (GIS) • 3 порта для GIS |
| Детекторы | In-lens SE детектор (TLD-SE) | Для вторичных электронов |
| In-lens BSE детектор (TLD-BSE) | Для обратнорассеянных электронов | |
| ICE детектор | Для вторичных ионов (SI) и электронов (SE) | |
| Работа с образцами | Автоматическая загрузка | 300 мм FOUP с EFEM (соответствие GEM300) |
| Ручная загрузка | 300/200/150 мм пластины | |
| Доп. опции | Оптический микроскоп | Поле зрения 920 мкм |
| STEM детектор (30 кВ) | Сегменты BF/DF/HAADF | |
| Oxford EDS | Энергодисперсионная спектроскопия | |
| CAD-навигация | Совместимость с NEXS и Synopsys Camelot | |
| iFast Software | Навигация по полупроводниковым пластинам (опция) | |
| Навигация по дефектам | Поддержка стандартов KLARF 1.2/1.8 |
Микроскоп Aquilos 2 Cryo-FIB
Специализированная система для приготовления ультратонких, электронно-прозрачных срезов.
Микроскоп Arctis Cryo-Plasma-FIB
Специализированная система для автоматизированного высокопроизводительного получения крио-срезов из витрифицированных клеток.
Микроскоп ExSolve WTP DualBeam
Микроскоп обеспечивает комплексное исследование образцов – от тканей до белковых комплексов – с сохранением их естественного состояния.
Микроскоп Helios 5 DualBeam
Микроскоп сочетает передовые технологии FIB-обработки с интеллектуальными системами автоматизации, обеспечивая надежную основу для развития следующих поколений электронных устройств.
Микроскоп Helios 5 PFIB DualBeam
Сканирующий электронный микроскоп с фокусированным ионным пучком (Plasma FIB-SEM) для подготовки TEM-образцов, включая 3D-характеризацию, анализ поперечных сечений, микрообработку.
Микроскоп Helios 5 PFIB Laser
Универсальный многофункциональный микроскоп, поддерживающий работу с четырьмя видами ионов (аргон, азот, кислород и ксенон), что позволяет подбирать оптимальные ионы для каждого исследования.
Микроскоп Helios 6 HD FIB-SEM
Микроскоп устанавливает новые стандарты в области подготовки образцов, обеспечивая исследователей и промышленность надежными инструментами для решения самых сложных аналитических задач.
Микроскоп Helios 6 HX FIB-SEM
Передовое решение для автоматизированной подготовки образцов для просвечивающей электронной микроскопии, сочетающее высочайшую точность с лучшей производительностью.
Микроскоп Helios 6 HXS FIB-SEM
Высокотехнологичное решение для серийной подготовки образцов в полупроводниковой промышленности, обеспечивающее беспрецедентный уровень автоматизации и точности.
Микроскоп Helios Hydra 5 PFIB-SEM
Универсальный многофункциональный микроскоп, поддерживающие работу с четырьмя видами ионов (аргон, азот, кислород и ксенон), что позволяет подбирать оптимальные ионы для каждого исследования.
Микроскоп Helios Hydra 5+ PFIB-SEM
Усовершенствованная система плазменной ионной микроскопии с повышенной на 50% мощностью ионного пучка (до 3.75 мкА для Xe) и ультранизким 100 эВ электронным пучком.
Микроскоп Hydra Bio Plasma-FIB
Микроскоп обеспечивает комплексное исследование образцов – от тканей до белковых комплексов – с сохранением их естественного состояния.
Микроскоп Scios 3 FIB-SEM
Современный аналитический сканирующий электронный микроскоп с фокусированным ионным пучком (FIB-SEM) сверхвысокого разрешения.
Сервис и ремонт измерительного оборудования
Выезд сервис-инженера
В кратчайшие сроки к вам приедет наш сервисный инженер для проведения ремонта.
Сервисный договор
Обслуживание «под ключ»: график выездов, экстренные выезды,склад запчастей «быстрого реагирования».
Диагностика и ремонт
Ремонтируем аналитическое и лабораторное оборудование всех ведущих марок, как представляемых эксклюзивно нами, так и сторонних производителей.
Гарантия и качество
Большой опыт оказания услуг по сервисному обслуживанию и ремонту измерительного оборудования.
ФОРМА ДЛЯ
ОБРАТНОЙ СВЯЗИ
Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.
Напишите свой вопрос, укажите интересующее оборудование.
Наша почта
info@caic.kz
Наш телефон
+7 (708) 978-03-54
