Установка для ионного напыления Mini Coater
Описание оборудования
Высокопроизводительный пластинчато-роторный насос используется для создания чистого вакуума под давлением <3 Па менее чем за 3 минуты. Использование магнетронных катодов существенно снижает тепловое воздействие плазмы на образец и повреждение его ионной бомбардировкой.
Установка особенно подходит для нанесения покрытия на драгоценные металлы, такие как золото и платина, для СЭМ с вольфрамовой нитью или для настольного СЭМ. Компактное автоматическое управление с сенсорным экраном также являются существенным преимуществом данного прибора.
Основные характеристики
|
Тип насоса |
Пластинчато-роторный |
|
Скорость откачки |
> 2 м3/ч |
|---|---|
|
Возможный вакуум |
< 2 Па |
|
Рабочее давление |
5-10 Па (контроль постоянного давления) |
|
Время откачки |
< 3 мин |
|
Вакууметр |
Пирани |
|
Вакуумная камера |
Ø 120*110 мм; нецарапающееся стекло |
|
Варьирование по высоте |
0–20 мм |
|
Размер мишени катода магнетрона |
Ø 50 *0,1-2 мм |
|
Распыление |
Источник для магнетронного распыления переменной мощности: 20 Вт, макс. 100 мА, 0–800 В постоянного тока. |
|
Время распыления |
Программируется (макс. 600 с) |
|
Управление |
Сенсорный экран |
|
Вес и размер |
~20 кг ~250 мм*380 мм*310 мм |
|
Электропитание |
100–220 В переменного тока, 50/60 Гц |
|
Мощность |
< 500 Вт |
|
Охлаждение |
Воздушное |
Поворотно-наклонный столик для образцов RTSS50
Сервис и ремонт измерительного оборудования
ФОРМА ДЛЯ
ОБРАТНОЙ СВЯЗИ
Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.
Напишите свой вопрос, укажите интересующее оборудование.
